用于扫描离子显微镜应用的铷和铯离子诱导的电子和离子信号
仪器与探测器
2024-03-11 v1
摘要
通过离子诱导的电子和离子产额，研究了基于超冷铷（Rb）和铯（Cs）原子的新型聚焦离子束（FIB）系统的扫描离子显微镜应用。将Rb和Cs FIB系统上测量的结果与商用镓（Ga）系统的结果进行比较，以验证将Rb和Cs用于成像的优点。比较表明，在各种纯元素靶材上，Rb和Cs的二次电子（SE）产额高于Ga，这意味着在SE成像中，使用Rb/Cs比使用Ga在相同剂量下可以获得更高的信噪比。此外，对离子诱导的离子信号的分析表明，二次离子主导了Cs诱导的离子信号，而Rb/Ga诱导的信号包含更多的背散射离子。
引用
@article{arxiv.2403.05460,
title = {Rubidium and cesium ion-induced electron and ion signals for scanning ion microscopy applications},
author = {Y. Li and S. Xu and T. H. Loeber and E. J. D. Vredenbregt},
journal= {arXiv preprint arXiv:2403.05460},
year = {2024}
}