离子束微加工多电极金刚石探测器的 IBIC 表征
仪器与探测器
2016-08-30 v1
摘要
深离子束光刻（DIBL）已被用于在单晶金刚石中以微米级分辨率直接写入埋层石墨区域。为了开发和表征一种完全由离子束微加工实现的固态电离室，我们使用 1.8 MeV He⁺ 离子微束在同质外延化学气相沉积（CVD）生长的金刚石上扫描，制备了一种具有叉指电极的器件。为评估该器件的电离辐射探测性能，通过探测不同埋层微电极布局，从离子束诱导电荷（IBIC）测量中提取了电荷收集效率（CCE）分布图。对 CCE 分布图的分析实现了对探测器特性的详尽评估，特别是明确了电子和空穴在诱导电荷脉冲形成中所起的不同作用。最后，将具有埋层石墨电极的探测器性能与传统金属表面电极的性能进行比较，揭示了制造过程导致在埋层电极上方形成了一层死层。
引用
@article{arxiv.1608.07590,
title = {IBIC characterization of an ion-beam-micromachined multi-electrode diamond detector},
author = {J. Forneris and V. Grilj and M. Jaksic and A. Lo Giudice and P. Olivero and F. Picollo and N. Skukan and C. Verona and G. Verona-Rinati and E. Vittone},
journal= {arXiv preprint arXiv:1608.07590},
year = {2016}
}
备注
17 pages, 6 figures