电子束诱导刻蚀中动态形貌图案的涌现形成
材料科学
2015-09-22 v1
摘要
几何图案的自发形成是一个引人入胜且普遍的过程，它为对称性破缺、各向异性和非线性相互作用在涌现现象中的作用提供了基本见解。在此，我们报道了金刚石表面上跨越多个长度尺度、且具有由电子束诱导刻蚀（EBIE）中所用前驱体气体的化学物种控制的对称性的动态、高度有序的形貌图案。该行为揭示了被现有EBIE理论忽视的潜在刻蚀速率各向异性和电子能量转移路径。我们提出了一种刻蚀速率动力学模型，该模型完全解释了我们的结果，并且普遍适用于EBIE。我们的发现可用于可控润湿、光学结构化和其他需要纳米及微尺度表面织构化的新兴应用。
引用
@article{arxiv.1509.05963,
title = {Emergent formation of dynamic topographic patterns in electron beam induced etching},
author = {Aiden A. Martin and Alan Bahm and James Bishop and Igor Aharonovich and Milos Toth},
journal= {arXiv preprint arXiv:1509.05963},
year = {2015}
}