热处理 Co/Mo2C 多层膜的界面观测

Yanyan Yuan; Karine Le Guen; Jean-Michel André; Christian Mény; Corinne Ulhaq; Anouk Galtayries; Jingtao Zhu; Zhanshan Wang; Philippe Jonnard

doi:10.1016/j.apsusc.2014.12.055

热处理 Co/Mo2C 多层膜的界面观测

材料科学 2015-01-30 v1

作者: Yanyan Yuan , Karine Le Guen , Jean-Michel André , Christian Mény , Corinne Ulhaq , Anouk Galtayries , Jingtao Zhu , Zhanshan Wang , Philippe Jonnard

在 arXiv 上查看 ↗ PDF ↗ DOI ↗

摘要

我们研究了一系列周期性 Co/Mo2C 多层膜的界面演化，退火温度高达 600{\textdegree}C。采用了多种互补技术来获取堆栈界面处发生的现象信息。飞行时间二次离子质谱 (ToF-SIMS) 深度剖面证实了 Co/Mo2C 多层膜的周期性结构，并表明在空气/堆栈和堆栈/基底界面处形成了氧化层。从核磁共振 (NMR) 谱中，我们观察到沉积样品中 Co 和 C 原子的混合现象，而在高于 300{\textdegree}C 的退火温度下，Co 和 C 原子从其混合区域分离。Co/Mo2C 与 Co/C 参考样品的 NMR 结果比较证实了这一现象。这与 X 射线发射光谱 (XES) 测量结果一致。此外，利用 Miedema 模型计算 Co-C、Co-Mo 和 Mo-C 的混合焓，证明了堆栈中 Co 和 C 原子在高于 300{\textdegree}C 时发生分相。透过电子显微镜 (TEM) 分析发现，沉积样品中存在一些微晶，且所有层主要呈非晶态。X 射线衍射 (XRD) 图谱证实了这一点，同时也证明了退火诱导的微晶生长。

关键词

Co/Mo2C 多层膜界面演化退火分相飞行时间二次离子质谱核磁共振透射电子显微镜

引用

@article{arxiv.1501.07360,
  title  = {Interface observation of heat-treated Co/Mo2C multilayers},
  author = {Yanyan Yuan and Karine Le Guen and Jean-Michel André and Christian Mény and Corinne Ulhaq and Anouk Galtayries and Jingtao Zhu and Zhanshan Wang and Philippe Jonnard},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1501.07360},
  year   = {2015}
}

备注

Published in Applied Surface Science 331, 8-16 (2015). http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2014.12.055

热处理 Co/Mo2C 多层膜的界面观测

摘要

关键词

引用

备注

相关论文