跑道型陶瓷管内 TiN 薄膜镀膜工艺研究及表征
加速器物理
2015-01-13 v1
摘要
采用射频溅射、直流溅射和直流磁控溅射三种不同方法在跑道型陶瓷管内表面镀 TiN 薄膜。比较了不同镀膜方法下 TiN 薄膜的沉积速率。根据 AFM、SEM、XPS 测试结果，分析了 TiN 薄膜粗糙度与表面形貌等性能。同时，研究了 Ti 丝与 Ti 板两类阴极下的沉积速率。SEM 测试结果表明，Ti 板阴极可明显提高 TiN/Ti 薄膜沉积速率。
引用
@article{arxiv.1501.02640,
title = {Film Coating Process Research and Characterization of TiN Coated Racetrack-type Ceramic Pipe},
author = {Jie Wang and Yanhui Xu and Bo Zhang and Wei Wei and Le Fan and Xiangtao Pei and Yuanzhi Hong and Yong Wang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1501.02640},
year = {2015}
}