基于有限元与掠入射软X射线荧光的纳米结构表面元素敏感重构
应用物理
2018-04-06 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
利用无参比掠入射X射线荧光分析对SiN层状光栅的几何结构进行了实验研究。虽然简单的层状体系通常用矩阵形式法处理以确定X射线驻波场，但该方法对横向结构化表面失效。基于有限元的麦克斯韦求解器常用于模拟光学谱段中任意二维或三维结构的电场强度。我们证明该方法也可应用于X射线领域。由麦克斯韦求解器获得的电场分布可随后用于计算荧光强度，其与矩阵形式法获得的X射线驻波场完全类比。只需将层状体系的有效一维积分替换为考虑局域激发条件的有限元二维积分。我们将表明该方法能够高元素灵敏度地重构结构化表面的几何线形。这种GIXRF与有限元模拟的结合为纳米级结构化表面的多功能表征铺平了道路。
引用
@article{arxiv.1801.04157,
title = {Element sensitive reconstruction of nanostructured surfaces with finite elements and grazing incidence soft X-ray fluorescence},
author = {Victor Soltwisch and Philipp Hönicke and Yves Kayser and Janis Eilbracht and Jürgen Probst and Frank Scholze and Burckhard Beckhoff},
journal= {arXiv preprint arXiv:1801.04157},
year = {2018}
}