利用麦克斯韦求解器从 GISAXS 图样重建层状光栅的详细线形轮廓
计算物理
2017-11-08 v4 介观与纳米尺度物理
摘要
横向周期纳米结构通过掠入射小角X射线散射(GISAXS)研究，利用衍射图样重建表面形状。为模拟可见光散射，通过有限元方法数值求解麦克斯韦方程严格计算近场与远场已十分成熟。由于入射波长与有限元尺寸的差异，该技术应用于X射线仍具挑战性。对于GISAXS，小角度入射、锥形散射几何及表面结构周期性使得这一缺陷消失，从而能以足够数值精度严格计算衍射效率。为开发基于GISAXS的尺寸计量工具，利用最先进的电子束光刻制备了线宽低至55 nm的层状光栅并刻入硅中。GISAXS的高表面灵敏度结合麦克斯韦求解器，即便对于厚且非均匀基底也能详细重建光栅线形。通过应用马尔可夫链蒙特卡洛(MCMC)采样技术对重建的几何线形模型进行统计验证，表明GISAXS能够以亚纳米不确定度重建线宽等关键参数。
引用
@article{arxiv.1704.08032,
title = {Reconstructing Detailed Line Profiles of Lamellar Gratings from GISAXS Patterns with a Maxwell Solver},
author = {Victor Soltwisch and Analia Fernandez Herrero and Mika Pflüger and Anton Haase and Jürgen Probst and Christian Laubis and Michael Krumrey and Frank Scholze},
journal= {arXiv preprint arXiv:1704.08032},
year = {2017}
}