使用大光束对小目标进行掠入射小角 X 射线散射（GISAXS）
介观与纳米尺度物理
2017-06-20 v1 仪器与探测器
摘要
GISAXS 常被作为一种通用工具，用于对纳米结构表面进行非接触和无损研究。然而，由于入射角极浅，X 射线束的光斑显著拉长，这限制了 GISAXS 只能用于目标长度为数毫米量级的样品。对于许多潜在应用而言，制造大面积目标区域是不切实际的，且目标被结构化区域所包围。由于光束光斑大于目标，周围结构会产生寄生散射，从而掩盖目标信号。本文展示了在 Si 衬底上线条长度从 降至 的孤立及被包围光栅目标的 GISAXS 测量结果。对于孤立光栅目标，解释了因目标长度减小而导致的散射图案变化。对于被包围的光栅目标，通过使目标相对于周围结构的主方向呈不同取向来制造目标，将 目标光栅结构的散射信号与 纳米结构周围环境的散射信号分离开来。所描述的技术使得 GISAXS 能够应用于例如半导体工业中计量场的表征，而在此之前，由于光束光斑过大，一直被认为不可能使用该方法。
引用
@article{arxiv.1703.01146,
title = {Grazing Incidence Small Angle X-Ray Scattering (GISAXS) on Small Targets Using Large Beams},
author = {Mika Pflüger and Victor Soltwisch and Jürgen Probst and Frank Scholze and Michael Krumrey},
journal= {arXiv preprint arXiv:1703.01146},
year = {2017}
}