周期性多层结构的不依赖模型 X 射线驻波分析
摘要
我们提出了一种不依赖模型的方法，用于重建纳米尺度层状结构中的原子浓度分布，该结构是通过 X 射线驻波（XSW）调制的 X 射线荧光产额测量的。该方法基于表征荧光产额的线性方程组的直接正则化解。所提出的技术针对布拉格条件下形成 XSW 的周期性层状结构分析进行了优化，但并不局限于此。所开发的方法应用于重建具有 50 个周期、每层厚度为 35 A 的 LaN/BN 多层膜的原子浓度分布。由于组成材料之间界面区域的估计厚度与单层厚度相当，该对象使用传统方法特别难以分析。然而，使用所提出的技术可以重建 La 原子分布，表明 La 原子局限在 LaN 层和界面内，并未扩散到 BN 层中。原子分布的确定精度为 1 A。对 Kr 荧光产额的分析表明，源自溅射气体的 Kr 原子被捕获在 LaN-on-BN 和 BN-on-LaN 界面中。
引用
@article{arxiv.1309.3133,
title = {Model independent X-ray standing wave analysis of periodic multilayer structures},
author = {S. N. Yakunin and I. A. Makhotkin and M. A. Chuev and E. M. Pashaev and E. Zoethout and E. Louis and R. W. E. van de Kruijs and S. Yu. Seregin and I. A. Subbotin and D. V. Novikov and F. Bijkerk and M. V. Kovalchuk},
journal= {arXiv preprint arXiv:1309.3133},
year = {2015}
}
备注
10 pages, 6 figures. The article presents the latest findings on the application of X-ray Standing Waves (XSW) technique for the analysis of periodic multilayer structures. A novel approach of the data treatment for XSW was proposed. The efficiency of developed approached was illustrated by the analysis of the atomic profiles in LaN/B4C multilayer mirror with a period thickness of 4.3 nm