使用时谐有限元法对纳米结构中电磁场的三维模拟

对传播电磁场的严格计算机模拟已成为纳米结构组件光学计量与光学设计的重要工具。正如先前基准测试所示，目前使用的一些方法存在收敛速度慢和/或结果精度低的问题，并且计算时间极长，这使得将其应用于扩展的二维版图图案变得不切实际。我们通过使用有限元求解器来处理三维模拟任务，对于典型的微光刻模拟，该求解器在精度和计算时间上比竞争方法高出数个数量级。我们报告了该求解器的当前状态，其结合了高阶棱边元、自适应细化方法以及快速求解算法。此外，我们研究了该求解器在交替相移接触孔掩模光衍射的三维模拟项目中的性能。