利用稠密等离子体焦点沉积类金刚石碳薄膜
材料科学
2008-11-04 v1
摘要
采用稠密等离子体焦点方法在石英衬底上沉积了类金刚石碳薄膜。薄膜中sp³键的形成及其含量强烈依赖于衬底，石英似乎不是合适的衬底。然而，我们在此报告了在保持高温的石英衬底上形成类金刚石碳薄膜，并表明薄膜中具有sp³键的碳原子含量与衬底温度成正比。这不仅为薄膜制备提供了良好的控制，还展示了如何在需要保护的材料表面上利用类金刚石碳薄膜的抗磨损、耐刮擦特性。
引用
@article{arxiv.0811.0162,
title = {Deposition of Diamond-like Carbon films using Dense Plasma Focus},
author = {Chhaya Ravikant and P. Arun and Savita Roy and M. P. Srivastava},
journal= {arXiv preprint arXiv:0811.0162},
year = {2008}
}
备注
Seven figures