屈曲类金刚石碳纳米机械谐振器
介观与纳米尺度物理
2015-11-04 v1
摘要
我们开发了以富 sp 类金刚石碳（DLC）薄膜作为导电膜的电容换能纳米机械谐振器。导电 DLC 薄膜通过物理气相沉积在 C 的温度下生长。表征谐振响应时，我们发现频率调谐大于预期，这归因于薄膜向上屈曲、远离底部电极。利用屈曲谐振器来增加频率调谐的可能性在射频应用（如可调 GHz 滤波器和压控振荡器）中具有优势。
引用
@article{arxiv.1510.09147,
title = {Buckled Diamond-like Carbon Nanomechanical Resonators},
author = {Matti Tomi and Andreas Isacsson and Mika Oksanen and Dmitry Lyashenko and Jukka-Pekka Kaikkonen and Sanna Tervakangas and Jukka Kolehmainen and Pertti Hakonen},
journal= {arXiv preprint arXiv:1510.09147},
year = {2015}
}
备注
5 + 4 pages, 3 + 4 figures