利用可见拉曼光谱对氢化类金刚石碳膜的定量分析
材料科学
2009-11-11 v1
摘要
本文研究了氢化类金刚石碳膜的性质与其拉曼光谱之间的相关性。这些薄膜采用等离子体沉积技术制备，在生长过程中保持不同的氢与甲烷比例。通过对材料拉曼光谱的详细分析，估算了材料的氢浓度、sp 含量、硬度以及光学 Tauc 带隙。我们还利用其他常用技术测量了薄膜的相同参数，例如利用 X 射线光电子能谱测量薄膜的 sp 含量，利用椭偏测量测量其 Tauc 带隙，以及利用显微硬度测试测量硬度。本文讨论了由拉曼测量与上述技术所得薄膜特性之间存在差异的原因。我们强调了可见拉曼光谱在可靠预测 DLC 薄膜上述关键特性中的重要性。
引用
@article{arxiv.cond-mat/0601030,
title = {Quantitative Analysis of Hydrogenated DLC Films by Visible Raman Spectroscopy},
author = {A. Singha and A. Ghosh and N. R. Ray and A. Roy},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0601030},
year = {2009}
}
备注
19 pages, 8 figures