增强表面耐久性的硬质(TiN / SiC)外涂层超抛光平面芯轴原型表征
天体物理仪器与方法
2015-09-14 v1
摘要
近期未来的若干硬 X 射线(10 - 100 KeV)天文任务将使用多层膜镀膜聚焦镜。基于镍电铸复制的技术适用于多层光学件的实现，因为预期有多模块望远镜。例如，对于 Constellation-X 任务，需要制造多达 14 个相同模块（12 个飞行模块加两个备用），它们可由同一系列芯轴复制而成。镍复制方法源自已成功用于制造 Au 镀膜软 X 射线镜的方法，这些镜在 BeppoSAX、XMM-Newton 和 Swift 任务中具有良好的成像性能。在该工艺向多层光学制造的技术扩展中，用极硬材料层覆盖芯轴（通常为 Kanigen 材质）的外表面将很便利。这将有助于在多次复制及随后芯轴清洗后，仍保持应用所要求的极低粗糙度水平（通常对于 1 微米 AFM 扫描长度小于几个埃）。在这方面，TiN 和 SiC 是良好的候选材料，两者均具有极高的硬度。我们已经证明，具有 TiN 和 SiC 外涂层的平面原型可被超抛光至与传统化学镀镍涂层相当的水平。本文将通过形貌测量（AFM 和 WYKO）和 X 射线散射对其中两个样品进行表征。
引用
@article{arxiv.1509.03473,
title = {Characterization of a flat superpolished mandrel prototype with hard (TiN / SiC) overcoating to enhance the surface durability},
author = {D. Spiga},
journal= {arXiv preprint arXiv:1509.03473},
year = {2015}
}