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Al(110)/Si(001) interphase边界原子模型与蒸发沉积

材料科学 2024-12-31 v1 介观与纳米尺度物理

摘要

我们报告了在模拟Al(Si)合金蒸发沉积至Si(001)基底后,对Al(110)/Si(001) interphase边界原子结构和扩散过程的分子动力学模拟。 observed 在界面上出现由full与partial类型 misfit位错组成的平行排列。Si原子聚集到misfit位错上,full位错的聚集作用更强。界面扩散主要由沿misfit位错的短路扩散控制,导致显著的扩散各向异性。full misfit位错上Al和Si原子的扩散速度快于partial misfit位错。由于misfit位错的存在,本文研究的Al(110)/Si(001)界面上的扩散速度快于我们先前研究的Al(111)/Si(111)界面上的扩散。

关键词

引用

@article{arxiv.2412.20994,
  title  = {Atomistic modeling of the structure and diffusion processes at Al(110)/Si(001) interphase boundaries obtained by vapor deposition},
  author = {Yang Li and Yuri Mishin},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2412.20994},
  year   = {2024}
}