纵向模态叉指梳状驱动器的二维静电模型

针对具有大量梳齿且工作模式为面内纵向的梳状驱动器，构造了静电方程的周期齐次化模型。该模型在转子与定子之间的距离为 $\varepsilon ^{\alpha }$（$\alpha \geq 2$）量级时得到，其中 $\varepsilon$ 表示梳齿分布周期。模型推导使用了双尺度收敛技术。文中还建立了强收敛性。这使得我们能够在适当缩放后，求得施加于转子纵向方向上的静电力的极限。