分层介质中三维互连宽带建模的完备表面积分法

提出了一种表面积分方程求解器，用于快速且精确地模拟嵌入分层介质中的互连结构。给出了一种高效计算多层格林函数的新技术。利用贝塞尔函数的泰勒展开，将矩量法过程中索末菲积分的计算化简为简单的代数运算。为对导体中的趋肤效应建模，将单源微分表面导纳算子推广至分层介质中的导体。为处理大型实际结构，以广义方式发展了自适应积分方法以适用于多层环境，该方法对导体布局无任何限制，且不同于以往工作，无需特殊网格细化。所提方法借助增广电场积分方程在宽频范围内保持鲁棒。不同形状与电尺寸的实际结构在宽频范围内被成功分析，结果对照一款商用有限元工具进行了验证。