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埋藏异质界面的三维成像

材料科学 2024-05-21 v3 介观与纳米尺度物理 应用物理

摘要

我们报道了利用多切片 ptychography 从单视角数据集确定扭转六方氮化硼(h-BN)异质界面的三维(3D)结构。我们识别出两片扭转 h-BN 之间的埋藏异质界面,横向分辨率为 0.57 {\AA},深度分辨率为 2.5 nm。后者相较环形暗场扫描透射电子显微镜等非相干成像模式的孔径限制深度分辨率有显著提升(约 2.7 倍)。这归因于衍射信号延伸至孔径边缘之外,且深度分辨率由 Ewald 球曲率决定。该方法未来的进展可将深度分辨率提升至亚纳米级,并实现对扭转异质界面及其他材料中单个掺杂剂、缺陷和色心的识别。

关键词

引用

@article{arxiv.2308.15471,
  title  = {Three-dimensional imaging of buried heterointerfaces},
  author = {Colum M. O'Leary and Haozhi Sha and Jianhua Zhang and Cong Su and Salman Kahn and Huaidong Jiang and Alex Zettl and Jim Ciston and Jianwei Miao},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2308.15471},
  year   = {2024}
}