基于傅里叶成像显微椭偏仪的剥离范德瓦尔斯材料厚度映射与层数识别
光学
2023-06-01 v1 材料科学
摘要
由于剥离的范德瓦尔斯异质结构的单层至少数层的性质高度依赖于其厚度，精确的厚度测量在其研究中变得必不可少。常用的原子力显微镜和拉曼光谱技术可能具有侵入性并产生不确定结果。相比之下，光谱椭偏仪受限于数十微米的横向分辨率和/或低数据采集速率，阻碍了其用于微尺度剥离薄片。在这项工作中，我们展示了一种具有亚5微米横向分辨率以及快速数据采集速率的傅里叶成像光谱显微椭偏仪，并给出了石墨烯、六方氮化硼和过渡金属硫族化物（MoS2、WS2、MoSe2、WSe2）薄片的单、双和三层的埃级精确且一致的厚度映射。我们表明，集成于光学显微镜的椭偏仪还可以映射微尺度薄片上微小的厚度变化。此外，我们的系统解决了识别单层厚hBN的相关问题。
引用
@article{arxiv.2211.07437,
title = {Thickness mapping and layer number identification of exfoliated van der Waals materials by Fourier imaging micro-ellipsometry},
author = {Ralfy Kenaz and Saptarshi Ghosh and Pradheesh Ramachandran and Kenji Watanabe and Takashi Taniguchi and Hadar Steinberg and Ronen Rapaport},
journal= {arXiv preprint arXiv:2211.07437},
year = {2023}
}