氮化硅平台上的热调谐器
光学
2016-04-12 v1
摘要
本文提出了在氮化硅上实现小尺寸热调谐器的设计权衡，并通过基于马赫-曾德尔干涉仪的光子芯片的测量与辅助仿真进行了探索。首先，评估了调谐器的电学特性，展示了紧凑性与劣化之间的折衷。其次，分析了涉及热效率、开关功率和加热器尺寸的不同变量。最后，着眼于探索此种紧凑调谐器在片上元件密度方面的极限，还研究了热串扰。报道了尺寸为270x5 μm²、开关功率350 mW的调谐器，其热串扰（以相邻器件中诱发的相位变化衡量）在距离超过20 μm时小于一个数量级。还概述了改善器件热效率、功耗和弹性的途径。
引用
@article{arxiv.1604.02958,
title = {Thermal tuners on a Silicon Nitride platform},
author = {Daniel Pérez and Juan Fernández and Rocío Baños and José David Doménech and Ana M. Sánchez and Josep M. Cirera and Roser Mas and Javier Sánchez and Sara Durán and Emilio Pardo and Carlos Domínguez and Daniel Pastor and José Capmany and Pascual Muñoz},
journal= {arXiv preprint arXiv:1604.02958},
year = {2016}
}