氮化硅纳米机械鼓形谐振器中热辐射主导的传热
应用物理
2020-08-26 v1
摘要
纳米机械氮化硅(SiN)鼓形谐振器因其对物理量前所未有的频率响应，正被应用于多个领域。本研究通过解析建模、计算模拟与实验，探究纳米机械SiN鼓形谐振器中的热传输，以更好理解引起热频率响应的底层传热机制。我们的分析表明，辐射热损失在纳米机械SiN谐振器中是一种不可忽略的传热机制，限制了其热响应度与响应时间。该发现对于热传感应用及腔光力学的优化谐振器设计具有重要意义。
引用
@article{arxiv.2005.10156,
title = {Thermal radiation dominated heat transfer in nanomechanical silicon nitride drum resonators},
author = {Markus Piller and Pedram Sadeghi and Robert G. West and Niklas Luhmann and Paolo Martini and Ole Hansen and Silvan Schmid},
journal= {arXiv preprint arXiv:2005.10156},
year = {2020}
}
备注
8 pages, 4 figures in main text, 3 figures in supplementary