基于氮化硅蹦床式谐振器的热红外探测
应用物理
2022-01-11 v2 仪器与探测器
摘要
纳米机电(NEMS)谐振器是有望突破现有灵敏度极限的非制冷热红外(IR)探测器。本文研究了以氮化硅(SiN)制成的纳米机电蹦床式谐振器作为热红外探测器的性能。与最先进的SiN薄膜鼓形谐振器相比,蹦床式谐振器的响应度提升了两个数量级以上。所表征的NEMS蹦床式红外探测器在噪声等效功率(NEP)方面达到7pW/的灵敏度,热响应时间低至4 ms。探测器区域采用阻抗匹配的金属薄膜吸收体,在1至25的整个中红外光谱范围内具有50%的频谱平坦吸收率。
引用
@article{arxiv.2105.03999,
title = {Thermal IR detection with nanoelectromechanical silicon nitride trampoline resonators},
author = {Markus Piller and Johannes Hiesberger and Elisabeth Wistrela and Paolo Martini and Niklas Luhmann and Silvan Schmid},
journal= {arXiv preprint arXiv:2105.03999},
year = {2022}
}
备注
5 pages, 5 figures