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用于室温亚太赫兹探测的微机械测辐射热计

仪器与探测器 2022-02-25 v1 应用物理 光学

摘要

在 THz 与亚 THz 频率下的快速室温成像是一项引人关注的特性,可释放安全、医疗与工业生产中大量应用的全部潜力。在本快报中,我们引入基于氮化硅蹦床膜的微机械测辐射热计作为宽谱探测器,可低至亚 THz 频率。在最长波长处,其室温噪声等效功率可与最先进的商用器件相比(约 100 pW Hz^{-1/2});加之良好的工作速度与简易的大规模制备工艺,该蹦床膜或可成为廉价室温 THz 成像及相关应用的下一个候选方案。

关键词

引用

@article{arxiv.2107.12170,
  title  = {Micromechanical bolometers for sub-Terahertz detection at room temperature},
  author = {Leonardo Vicarelli and Alessandro Tredicucci and Alessandro Pitanti},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2107.12170},
  year   = {2022}
}

备注

7 pages, 4 figures