热机械驱动氮化硅纳米弦中的耗散机制
介观与纳米尺度物理
2012-04-26 v2 其他凝聚态物理
摘要
高应力氮化硅纳米弦因其超高的机械品质因子(Q值)而成为有前景的传感系统。通过对多个振动模式进行热机械校准，我们能够评估这些器件中各种耗散机制的作用。具体而言，我们拥有一组纳米弦，其中所有测量模式都落在同一条峰值位移与频率的关系曲线上。这使我们能够排除体弯曲和本征损耗机制作为主要耗散源，并得出结论：高应力纳米弦中耗散的最显著贡献发生在锚点处。
引用
@article{arxiv.1201.1898,
title = {Dissipation Mechanisms in Thermomechanically Driven Silicon Nitride Nanostrings},
author = {A. Suhel and B. D. Hauer and T. S. Biswas and K. S. D. Beach and J. P. Davis},
journal= {arXiv preprint arXiv:1201.1898},
year = {2012}
}
备注
4 pages (+3 supplementary), 3 figures, accepted to Applied Physics Letters