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高品质因子金与氮化硅双层纳米弦

介观与纳米尺度物理 2012-08-29 v2 其他凝聚态物理

摘要

低质量、高品质因子 (high-Q) 的氮化硅纳米弦处于纳米机械传感应用的前沿。本文表明,添加可化学功能化的金覆盖层并不会 adversely affect 基频面外模式的 Q 值。相反,器件在保持机械响应能力的同时,获得了对分子键合的敏感性。此外,双层结构内的热膨胀差异产生了可由电控的内部应力。特别是,交流电可激发纳米弦的共振运动。这种交流热弹性驱动方式简单、稳健,并提供了一种集成的传感器驱动方案。

关键词

引用

@article{arxiv.1207.5790,
  title  = {High-Q Gold and Silicon Nitride Bilayer Nanostrings},
  author = {T. S. Biswas and A. Suhel and B. D. Hauer and A. Palomino and K. S. D. Beach and J. P. Davis},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1207.5790},
  year   = {2012}
}

备注

5 pages, 4 figures + supplementary material