室温下金属化双层纳米机械谐振器的阻尼
介观与纳米尺度物理
2014-11-25 v1
摘要
我们研究了在室温下，将金薄膜随后沉积在一组初始无涂层、双端固支、高应力氮化硅弦谐振器上所产生的影响。推导出了该双层系统面内和面外弯曲模态的共振频率、品质因数及阻尼的解析表达式，从而能够根据实验数据确定复合结构的有效弹性参数。我们发现逆品质因数与金膜厚度呈线性比例关系，表明整体阻尼由金属中的损耗主导。相应地，与裸氮化硅弦谐振器相比，机械线宽增加了一个数量级以上。此外，我们提取了两种弯曲模态下金膜的机械品质因数，并表明通过单步完全沉积金属可对其加以增强，这表明表面和界面损耗在金属薄膜中起着至关重要的作用。
引用
@article{arxiv.1409.5670,
title = {Damping of metallized bilayer nanomechanical resonators at room temperature},
author = {Maximilian J. Seitner and Katrin Gajo and Eva M. Weig},
journal= {arXiv preprint arXiv:1409.5670},
year = {2014}
}