纳米机械弦谐振器中拉伸应力的普适长度依赖性
介观与纳米尺度物理
2021-04-08 v2 应用物理
摘要
我们研究了自由悬浮纳米机械弦谐振器中的拉伸应力，并观察到与材料无关的谐振器长度依赖性。我们比较了基于氮化非晶硅、碳化结晶硅以及磷化铟镓结晶的四种不同材料体系制备的强应力弦谐振器。发现较短谐振器的拉伸应力增加了约 50%。我们建立了一个简单的弹性模型来描述所观察到的拉伸应力长度依赖性。该模型准确地描述了我们的实验数据。这为通过应力工程调控纳米机械弦谐振器的机械品质因子提供了前景。
引用
@article{arxiv.2012.00507,
title = {Universal length dependence of tensile stress in nanomechanical string resonators},
author = {Maximilian Bückle and Yannick S. Klaß and Felix B. Nägele and Rémy Braive and Eva M. Weig},
journal= {arXiv preprint arXiv:2012.00507},
year = {2021}
}