纳米膜中面内弹性应力张量的可逆控制

应变工程使得材料和器件的物理特性能够被广泛定制，正如消费电子中使用的应变晶体管和半导体激光器所典范性展示的那样。因此，其对我们社会的潜在影响被比作化学合金化。尽管近年来在应变纳米材料方面取得了显著进展，应变场（具有张量性质，含六个独立分量）仍主要以“标量”和/或静态方式使用。本文我们提出一类新型应变致动器，其允许纳米膜中面内应力张量的三个分量被独立且可逆地控制。这些致动器基于单片压电衬底，通过飞秒激光加工进行微加工。它们的功能通过在一半导体层中“编程”任意应力状态来演示，该层的光发射被用作局部且灵敏的应变计。本工作所示结果开辟了研究和利用材料与器件中应变效应的新途径。