通过纳米机械弦谐振器的本征模谱测定杨氏模量
应用物理
2022-08-30 v2
摘要
我们提出了一种在原位测定受拉伸应力纳米机械弦谐振器杨氏模量的方法。该方法依赖于测量大量谐波本征模，即使对于应力主导的频率响应情形也能获取杨氏模量。我们使用所提出的框架获得了四种不同晶圆材料的杨氏模量，涵盖非晶硅氮化物、晶体碳化硅和晶体磷化铟镓三种不同材料平台。所得数值在可行处与理论和文献值进行比较，揭示了为精确器件表征而在被测样品材料上测量杨氏模量的必要性。
引用
@article{arxiv.2205.08907,
title = {Determining Young's modulus via the eigenmode spectrum of a nanomechanical string resonator},
author = {Yannick S. Klaß and Juliane Doster and Maximilian Bückle and Rémy Braive and Eva M. Weig},
journal= {arXiv preprint arXiv:2205.08907},
year = {2022}
}