多边形共振器边缘模式的软夹紧

多边形共振器因其紧凑的结构和高力敏感性而成为纳米机械应用的优选候选材料。本文发展了一种解析框架，通过扩展Timoshenko-格尔方程以纳入拉应力，来预测多边形边缘模式的共振频率和耗散稀释因子 $D_Q$。该模型识别出两种主要的耗散机制：多边形边缘的分布性弯曲以及支撑支架的扭转变形。我们发现，此类共振器的耗散稀释规模为 $1/\lambda^2$，与由边界弯曲损耗相关的常规 $1/\lambda$ 依赖性不同。此外，我们展示了通过调节支撑支架的扭转角度可抑制扭转损耗。解析预测经有限元仿真验证，为设计用于腔光机械和精密探测的高-$Q$ 多边形共振器提供了预测框架。