基于相干菲涅耳叠层成像的桌面级纳米极紫外扩展反射模式成像
光学
2013-12-10 v1
摘要
我们演示了高分辨率极紫外(EUV)相干衍射成像，结合了叠层成像与倾斜平面校正，在最一般的反射几何中实现。该方法能够以任意入射角对扩展表面成像。来自桌面相干高次谐波光源的29 nm重聚焦光以45度入射角照射纳米图案表面。重建图像包含定量振幅和相位（此处为图案高度）信息，与扫描电子显微镜和原子力显微镜图像相比具有优势。未来，该方法将能够以亚10 nm空间分辨率和飞秒时间分辨率对复杂表面和纳米结构成像，这将影响广泛的纳米科学和纳米技术，包括直接应用于支持EUV光刻的光化检测。
引用
@article{arxiv.1312.2049,
title = {Tabletop Nanometer Extreme Ultraviolet Imaging in an Extended Reflection Mode using Coherent Fresnel Ptychography},
author = {Matthew D. Seaberg and Bosheng Zhang and Dennis F. Gardner and Elisabeth R. Shanblatt and Margaret M. Murnane and Henry C. Kapteyn and Daniel E. Adams},
journal= {arXiv preprint arXiv:1312.2049},
year = {2013}
}