使用 13.5 nm 桌面式高次谐波光源对周期性样品进行亚波长相干成像
光学
2024-04-01 v1 仪器与探测器
摘要
相干衍射成像是在极紫外和 X 射线区域实现衍射极限空间分辨率的唯一途径，其仅受光波长限制，这一特性使其独一无二。近年来，相干短波长光源的进展与算法开发的进步相结合，显著增强了 X 射线成像的能力。然而，迄今为止，周期性物体的高保真衍射成像一直是一项挑战，因为散射光集中在孤立的峰值中。在这里，我们使用桌面式 13.5 nm 高次谐波光束取得了两项重大进展。首先，我们首次展示了对扩展的近周期样品的高质量成像。其次，我们在短波长下首次实现了亚波长空间分辨率（12.6 nm）成像。这两项进展的关键是一种称为模强制探针的新技术，该技术能够实现对周期性物体的稳健、定量重建。这项工作对下一代纳米工程器件的成像具有重要意义。
引用
@article{arxiv.2403.19766,
title = {Sub-wavelength coherent imaging of periodic samples using a 13.5 nm tabletop high harmonic light source},
author = {Dennis F. Gardner and Michael Tanksalvala and Elisabeth R. Shanblatt and Xiaoshi Zhang and Benjamin R. Galloway and Christina L. Porter and Robert Karl and Charles Bevis and Daniel E. Adams and Henry C. Kapteyn and Margaret M. Murnane and Giulia F. Mancini},
journal= {arXiv preprint arXiv:2403.19766},
year = {2024}
}
备注
15 pages, 5 figures