涡旋高次谐波光束实现高保真度叠层衍射成像高度周期结构
光学
2023-01-16 v1 材料科学
应用物理
摘要
叠层相干衍射成像能够在极紫外和X射线波长下实现纳米级结构的衍射极限成像，而这些波长下没有高质量的成像光学元件。然而，该方法依赖于一组多样化的衍射图样，这使得使用叠层衍射成像对高度周期性的样品进行成像具有挑战性，限制了其在电子和光子器件缺陷检测中的应用。在此，我们使用由携带轨道角动量的激光驱动的涡旋高次谐波光束，实现了对高度周期性样品的极紫外叠层衍射成像，具有高保真度和可靠性。我们还首次展示了使用涡旋高次谐波光束对一个原本周期性的样品中的孤立、近衍射极限缺陷进行叠层衍射成像。这种增强的计量技术可以为下一代纳米、能源、光子和量子器件实现高度周期性结构的高保真度成像与检测。
引用
@article{arxiv.2301.05563,
title = {High-fidelity ptychographic imaging of highly periodic structures enabled by vortex high harmonic beams},
author = {Bin Wang and Nathan J. Brooks and Peter C. Johnsen and Nicholas W. Jenkins and Yuka Esashi and Iona Binnie and Michael Tanksalvala and Henry C. Kapteyn and Margaret M. Murnane},
journal= {arXiv preprint arXiv:2301.05563},
year = {2023}
}
备注
20 pages, 4 figures, 4 supplementary figures