基于极紫外高次谐波梳的叠层衍射高光谱显微术
光学
2016-08-24 v1
摘要
我们展示了一种在极紫外（EUV）光谱范围内的光谱显微术新方案，可同时成像样品在不同波长下的光谱响应。该方案通过将叠层衍射信息复用（PIM）应用于基于高次谐波产生的台式EUV光源得以实现，其中30 nm附近的四个窄谱谐波形成了频谱梳状结构。将PIM从先前已演示的可见光波长扩展到EUV/X射线波长，有望实现更高的空间分辨率和更强大的光谱对比机制，使PIM在显微和光谱两方面都成为一种极具吸引力的光谱显微方法。除样品外，多色EUV光束也进行了原位成像，使我们的方法成为一种强大的光束表征技术。未使用任何硬件来分离或压缩波长，从而实现了EUV辐射的高效利用。
引用
@article{arxiv.1605.09078,
title = {Ptychographic hyperspectral spectromicroscopy with an extreme ultraviolet high harmonic comb},
author = {Bosheng Zhang and Dennis F. Gardner and Matthew H. Seaberg and Elisabeth R. Shanblatt and Christina L. Porter and Robert Karl, and Christopher A. Mancuso and Henry C. Kapteyn and Margaret M. Murnane and Daniel E. Adams},
journal= {arXiv preprint arXiv:1605.09078},
year = {2016}
}