利用极紫外相干层析术以纳米分辨率非破坏性重建Al-Al$_2$Cu层状结构
材料科学
2023-11-21 v1 应用物理
光学
摘要
在材料科学中，对材料体系进行纳米尺度分辨率的非破坏性横截面表征，并能够开展时间分辨的原位研究，具有重要意义。本文提出这样一种测量方法——极紫外相干层析术(XCT)。该方法在样品制备及测量过程中均非破坏性，且与电子显微方法相比热负载可忽略不计。表征所用辐射为极紫外(XUV)与软X射线波段的激光产生辐射。测量原理为干涉式，信号评估通过迭代傅里叶分析完成。该方法在金属体系Al-AlCu上得到演示，并与电子显微镜及原子力显微镜测量结果进行比较。我们还提出了XCT的先进重建方法，其甚至可测定外界面与内界面的粗糙度。
引用
@article{arxiv.2311.10743,
title = {Non-destructive depth reconstruction of Al-Al$_2$Cu layer structure with nanometer resolution using extreme ultraviolet coherence tomography},
author = {Johann Jakob Abel and Jonathan Apell and Felix Wiesner and Julius Reinhard and Martin Wünsche and Nadja Felde and Gabriele Schmidl and Jonathan Plentz and Gerhard G. Paulus and Stephanie Lippmann and Silvio Fuchs},
journal= {arXiv preprint arXiv:2311.10743},
year = {2023}
}
备注
First two authors contributed equally to this work and are ordered alphabetically. 14 pages