利用椭圆偏振光谱和拉曼光谱测定纳米晶硅薄膜的结构
材料科学
2009-11-13 v1
摘要
在不同 H2 稀释水平下利用 SiF4/H2 等离子体沉积的单相纳米晶和微晶硅薄膜，在薄膜生长的初始和最终阶段，通过光谱椭圆偏振法 (SE)、拉曼散射 (RS) 和原子力显微镜 (AFM) 进行了研究。对 SE 获得数据的分析，从晶粒尺寸及其体积分数的变化、晶粒团聚以及薄膜形貌等方面阐明了随薄膜生长的微观结构演化。讨论了 H2 稀释对薄膜微观结构和形貌的影响，以及 AFM 研究的印证结果。我们的 SE 结果表明，在薄膜生长的某个阶段之后，材料中存在两种截然不同的平均晶粒尺寸。对此类薄膜的拉曼散射数据分析采用了晶粒的双峰尺寸分布，从而 yielded 更准确且物理上更合理的材料微观结构图像。
引用
@article{arxiv.0707.0228,
title = {Structural Determination of Nanocrystalline Si Films Using Ellipsometry and Raman Spectroscopy},
author = {Sanjay K. Ram and Md. N. Islam and P. Roca i Cabarrocas and Satyendra Kumar},
journal= {arXiv preprint arXiv:0707.0228},
year = {2009}
}
备注
5 pages, 4 figures, 1 table