基于晶粒尺寸分布阐明单相微晶硅的微观结构
材料科学
2007-07-03 v1
摘要
利用 SiF4-H2 混合等离子体制备的高度结晶未掺杂氢化微晶硅薄膜，在不同生长阶段采用多种微观结构探针进行了研究。我们自洽的结果阐明了薄膜微观结构演化、成分变化以及晶粒尺寸分布随薄膜生长的变化等各个方面。在微观结构数据分析中引入双峰晶粒尺寸分布，所得结果与其他微观结构工具获得的结果相互印证，并提供了对微晶硅薄膜微观结构更物理准确且连贯的描述。
引用
@article{arxiv.0707.0225,
title = {Elucidation of microstructure of single-phase microcrystalline silicon based on crystallite size distributions},
author = {Sanjay K. Ram and MD. N. Islam and P. Roca I Cabarrocas and Satyendra Kumar},
journal= {arXiv preprint arXiv:0707.0225},
year = {2007}
}
备注
5 pages, 4 figures