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在氮化铝薄膜上识别二维原子层

材料科学 2015-10-19 v3

摘要

大面积基板的可用性对层状材料器件的技术和商业实现构成了重要约束。硅上的氮化铝薄膜被证明是此类器件大面积基板的候选材料。在此,作为在这些基板上实现器件的必要第一步,我们研究了示例性二维层(MoS2 和石墨烯)在 AlN 薄膜上的光学对比度。与传统的 SiO2 薄膜相比,预测并观察到 AlN 薄膜上的对比度显著增强。利用反射光谱对实验对比度进行的定量估计与预测值非常吻合。

关键词

引用

@article{arxiv.1503.06573,
  title  = {Spotting 2-D Atomic Layers on Aluminum Nitride Thin Films},
  author = {Hareesh Chandrasekar and Krishna Bharadwaj B and Kranthi Kumar Vaidyuala and Swathi Suran and Navakanta Bhat and Manoj Varma and Srinivasan Raghavan},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1503.06573},
  year   = {2015}
}

备注

17 pages, 8 figures, supplementary information