六方氮化硼上石墨烯中激光诱导掺杂构型的空间控制
介观与纳米尺度物理
2017-08-10 v1
摘要
我们提出一种在石墨烯-六方氮化硼(hBN)异质结构中创建和擦除空间分辨掺杂构型的方法。该技术基于聚焦激光的光诱导掺杂，既不需要掩模也不需要光刻胶。这使得我们的技术在非常规电子器件方案的快速原型制作中颇具兴趣，其中可重写、长期稳定的掺杂构型的空间分辨率仅受激光光斑尺寸(~600 nm)和样品定位精度限制。我们的光学掺杂方法提供了一条在同一种石墨烯器件中实现和测试不同复杂掺杂图案的途径，这是传统门控技术无法实现的。
引用
@article{arxiv.1511.00500,
title = {Spatial control of laser-induced doping profiles in graphene on hexagonal boron nitride},
author = {Christoph Neumann and Leo Rizzi and Sven Reichardt and Bernat Terrés and Timofiy Khodkov and Kenji Watanabe and Takashi Taniguchi and Bernd Beschoten and Christoph Stampfer},
journal= {arXiv preprint arXiv:1511.00500},
year = {2017}
}