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具有聚合物固体电解质栅极的抗辐射可修复 MoS$_2$ 场效应器件

材料科学 2021-10-15 v1 介观与纳米尺度物理 应用物理

摘要

随着人类活动扩展到自然或人为的易辐射环境,对抗辐射(Rad-Hard)电子硬件的需求激增。最先进的基于硅和二维(2D)材料的抗辐射晶体管可承受高达 1 Mrad (Si) 的总电离剂量(TID),而人们正热烈寻求更高的 TID 耐受性。在此,我们展示了具有聚合物固体电解质(PSE)栅介质的少数层 MoS2_2 抗辐射场效应晶体管(FETs)。该 MoS2_2 PSE-FETs 在 523 rad (Si) s1^{-1} 的剂量率下表现出高达 3.75 Mrad (Si) 的 TID 耐受性,并可通过在 100 ^{\circ}C 下适度热退火 5 分钟进行修复。结合优异的固有辐射耐受性和可修复性,MoS2_2 PSE-FETs 达到了高达 10 Mrad (Si) 的 TID 耐受性。我们构建了互补金属氧化物半导体(CMOS)型 MoS2_2 PSE 反相器,并显示出类似的高辐射耐受性。此外,利用化学气相沉积(CVD)生长的单层 MoS2_2 证明了晶圆级抗辐射 PSE 反相器阵列的可行性。我们的研究揭示了基于 2D 材料的 PSE 器件在未来抗辐射集成电路(ICs)中的潜力。

关键词

引用

@article{arxiv.2110.02601,
  title  = {Radiation-hardened and Repairable MoS$_2$ Field Effect Devices with Polymer Solid Electrolyte Gates},
  author = {Di Chen and Jiankun Li and Zheng Wei and Xinjian Wei and Maguang Zhu and Jing Liu and Guangyu Zhang and Zhiyong Zhang and Jian-Hao Chen},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2110.02601},
  year   = {2021}
}

备注

20 pages, 12 figures