氧化效应对梯度多孔硅减反射涂层的影响
材料科学
2012-10-02 v1 化学物理
摘要
高效的减反射涂层 (ARC) 可改善光收集从而增加太阳能电池的电流输出。通过对 Si 晶圆进行简单的电化学蚀刻，可以制备具有优异宽带减反射特性的多孔硅 (PS) 层。本研究利用光谱椭圆偏振仪、透射电子显微镜和 X 射线光电子能谱研究了梯度 PS 的老化过程。在 PS 氧化过程中，存在纯 Si (Si)、SiO (Si)、SiO (Si)、SiO (Si) 和 SiO (Si) 等元素。此外，氢和碳也以 SiSiH 和 CO 的形式引入 PS 中。当暴露于氧气时，氧化物几乎随时间线性增长，表面 PS 的平均厚度从 0 增加到 3.8 nm。随后将氧化过程与多层 PS ARC 的光学稳定性相关联。研究发现，即使经过广泛氧化，PS 结构的光学性质变化也很小。
引用
@article{arxiv.1210.0038,
title = {Oxidation effects on graded porous silicon anti-reflection coatings},
author = {Annett Thøgersen and Josefine H. Selj and Erik S. Marstein},
journal= {arXiv preprint arXiv:1210.0038},
year = {2012}
}