六方氮化硼薄片的光学厚度测定
材料科学
2014-07-09 v2 介观与纳米尺度物理
摘要
光学反射率对比度提供了一种简单、快速且无损的方法来表征二维材料的少层样品。在此，我们将此技术应用于测量六方氮化硼 (hBN) 薄片的厚度，hBN 是一种在纳米器件制造中日益受到关注的材料。光学对比度在短波长处显示出强烈的负峰，并在依赖于厚度的波长处呈现零对比度。对于 1-80 层的 hBN，光学对比度呈线性变化，这使得厚度校准变得容易。我们通过比较原子力显微镜和光学对比度结果，证明了这种快速表征方法的适用性。
引用
@article{arxiv.1303.3300,
title = {Optical thickness determination of hexagonal Boron Nitride flakes},
author = {Dheeraj Golla and Kanokporn Chattrakun and Kenji Watanabe and Takashi Taniguchi and Brian J. LeRoy and Arvinder Sandhu},
journal= {arXiv preprint arXiv:1303.3300},
year = {2014}
}
备注
3 pages, 3 figures