六方氮化硼腔光力学
光学
2019-03-27 v2 介观与纳米尺度物理
摘要
六方氮化硼(hBN)是一种新兴的层状材料，在多种二维器件中发挥关键作用，并在纳米光子学和纳米力学中具有潜在应用。在此，我们展示了首个包含hBN的腔光力学系统。利用电子束诱导刻蚀制备了由hBN梁组成的纳米机械谐振器，其预测厚度在8 nm至51 nm之间，并将其置于硅微盘腔的光学近场中。我们展示了对hBN纳米梁运动的160 fm/灵敏度，从而能够观测到频率在1至23 MHz之间的热驱动机械共振，以及在室温高真空下达到1100的机械品质因子。此外，通过压强依赖测量研究了空气阻尼的作用。我们的结果朝着实现采用hBN的集成光力学电路迈出了重要一步。
引用
@article{arxiv.1809.04023,
title = {Hexagonal boron nitride cavity optomechanics},
author = {Prasoon K. Shandilya and Johannes E. Fröch and Matthew Mitchell and David P. Lake and Sejeong Kim and Milos Toth and Bishnupada Behera and Chris Healey and Igor Aharonovich and Paul E. Barclay},
journal= {arXiv preprint arXiv:1809.04023},
year = {2019}
}
备注
Revised version