面向BEOL兼容器件实现的铁电场效应晶体管的操作与设计
新兴技术
2022-09-13 v1
摘要
我们提出一项基于数值模拟及近期有关FeFETs操作与设计的实验数据对比分析的研究。我们的结果表明，恰当考虑铁电-介电叠层中的电荷俘获对于使模拟与实验相吻合，以及获得期望的电流-电压特性滞回行为不可或缺。随后我们分析多晶硅沟道FeFETs的几种设计选项，特别研究沟道厚度与掺杂浓度对存储窗口以及依赖于极化的高阻态与低阻态之比的影响。
引用
@article{arxiv.2209.05133,
title = {Operation and Design of Ferroelectric FETs for a BEOL Compatible Device Implementation},
author = {Daniel Lizzit and David Esseni},
journal= {arXiv preprint arXiv:2209.05133},
year = {2022}
}