大电流电子束改性下 TiN/Al_{2}O_{3} 涂层形貌与相变的数值分析
材料科学
2013-10-07 v1
摘要
利用低能大电流电子束 (NCEB) 对 TiN/Al_{2}O_{3} 混合涂层的表面结构进行了改性。将表面粗糙度视为束流电流的函数。在二维多重分形去趋势波动分析 (MF-DFA) 框架下对所得样品的表面进行了研究。计算了表面的多重分形谱作为粗糙度的定量参数。结果表明,随着束流能量的增加,表面变得更加规则和均匀。
引用
@article{arxiv.1310.1235,
title = {Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al_{2}O_{3} coating under high current electron beam modification},
author = {A. D. Pogrebnjak and V. N. Borisyuk and A. A. Bagdasaryan},
journal= {arXiv preprint arXiv:1310.1235},
year = {2013}
}
备注
8 pages, 6 figures