垂直驱动双频电容耦合等离子体的建模
等离子体物理
2017-01-24 v1 计算物理
摘要
我们提出了一种改进的双频电容耦合等离子体(DF-CCP)构型。在该构型中，两对电极相对放置，放电由两个射频源垂直驱动。通过粒子网格/蒙特卡罗方法，我们证明了该构型可以消除传统DF-CCP中有害的电磁和双频耦合效应。
引用
@article{arxiv.0912.5129,
title = {Modeling of Perpendicularly Driven Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasma},
author = {Hongyu Wang and Wei Jiang and Zhenhua Bi and Younian Wang},
journal= {arXiv preprint arXiv:0912.5129},
year = {2017}
}
备注
submitted to Applied Physics Letters