VHF容性耦合等离子体中由表面波产生的高能电子
等离子体物理
2023-03-03 v2
摘要
容性耦合等离子体（CCP）是等离子体加工工业中主要使用的工具之一。然而，提高驱动频率和电极尺寸受到等离子体径向不均匀性出现的限制，这种不均匀性对应用有害。该不均匀性由充满等离子体的反应器中天然存在的表面波与等离子体电子的相互作用引起，导致复杂的电子能量获取与电离动力学。利用自洽全电磁、能量与电荷守恒的隐式粒子网格代码ECCOPIC2M，我们证明了电子能量获取与电离分布源于不同现象之间复杂的相互作用，对于所考虑的低压条件需要动理学和非局域描述。讨论了表面波激发随驱动频率的变化。
引用
@article{arxiv.2302.12499,
title = {Generation of energetic electrons by surface waves in VHF CCPs},
author = {D. Eremin and E. Kemaneci and M. Matsukuma and I. Kaganovich and T. Mussenbrock and R. P. Brinkmann},
journal= {arXiv preprint arXiv:2302.12499},
year = {2023}
}