用全电磁粒子网格法代码对甚高频大电极电容耦合等离子体的建模
等离子体物理
2023-05-17 v2
摘要
利用新颖的守恒能量与电荷的隐式全电磁粒子网格/蒙特卡洛代码 ECCOPIC2M，对具有大电极且由甚高频驱动的电容耦合等离子体中发生的现象进行数值研究。该代码与具有不同碰撞率和吸收功率的多种情形均吻合良好。尽管底层物理的某些方面已在先前文献中用其他模型展示过，但由于在低气压下运行的此类等离子体放电中表面模式激发与非局域物理之间的复杂相互作用难以在其他模型中真实再现，粒子网格法在预测性建模上具有优势。
引用
@article{arxiv.2212.08836,
title = {Modeling of very high frequency large-electrode capacitively coupled plasmas with a fully electromagnetic particle-in-cell code},
author = {D. Eremin and E. Kemaneci and M. Matsukuma and T. Mussenbrock and R. P. Brinkmann},
journal= {arXiv preprint arXiv:2212.08836},
year = {2023}
}