容性耦合等离子体的击穿模式 I：从辉光放电到多级倍增的转变
等离子体物理
2023-12-06 v1
摘要
本文使用一维直接隐式粒子模拟/蒙特卡罗碰撞（PIC/MCC）代码，研究了在纯氩背景气体中、60 MHz射频功率驱动下的容性放电。考虑了适用于SiO₂电极的电子诱导二次电子发射（ESEE）模型。在该模拟中，于较高气压辉光放电与异常多级倍增放电之间的过渡区域发现了若干放电模式。在数百伏的窄电压范围内，随着气压持续降低，异常多级倍增将转变为正常多级倍增。文中给出并分析了三种自持放电的特性，并讨论了它们的形成过程。这些新型放电在边界处具有更高的电子能量和电子通量，主要由较高的电极诱导二次电子发射系数和高频维持。在60 MHz范围内出现的两种多级倍增模式可能拓宽气体放电理论，并扩展容性放电的应用。
引用
@article{arxiv.2312.02559,
title = {Breakdown modes of capacitively coupled plasma I: transitions from glow discharge to multipactor},
author = {Hao Wu and Ran An and Dong Zhong and Wei Jiang and Ya Zhang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2312.02559},
year = {2023}
}
备注
17pages,12 figures