多频容性耦合等离子体中自偏压形成与带电粒子动力学
等离子体物理
2024-06-19 v1
摘要
本工作中，我们分析了在多频波形驱动的容性耦合射频等离子体里，放电不对称性的产生及伴随的直流自偏压形成，并研究其与电极表面特性的关系。对于后者，我们考虑并改变表征电子从表面弹性反射的系数以及离子诱导二次电子发射产额。我们的研究基于等离子体的粒子模拟/蒙特卡洛碰撞 (PIC/MCC) 模拟以及有助于理解计算结果的模型。研究发现，在多频激励存在下，电子从电极的反射对放电不对称性影响轻微，而二次电子作为驱动电压波形各谐波间相位角以及谐波数量的函数，对等离子体不对称性造成明显改变。
引用
@article{arxiv.2105.01890,
title = {Self-bias voltage formation and charged particle dynamics in multi-frequency capacitively coupled plasmas},
author = {R. U. Masheyeva and K. N. Dzhumagulova and M. Myrzaly and J. Schulze and Z. Donko},
journal= {arXiv preprint arXiv:2105.01890},
year = {2024}
}